Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | |
---|---|
التنسيق: | Книга |
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | Перейти к просмотру издания |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
وصف مادي: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ردمك: | 978-985-06-3395-8 |