Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Книга |
| Témata: | |
| On-line přístup: | Перейти к просмотру издания |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Fyzický popis: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-985-06-3395-8 |