Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Teme: | |
| Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
| Fizični opis: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-985-06-3395-8 |