Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Перейти к просмотру издания |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| LEADER | 03009nam0a2200421 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/129933 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/129933.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20240904 |g RCR | |
| 010 | |a 978-985-06-3395-8 | ||
| 205 | |a Ионная и фотонная обработка материалов |b 2028-05-04 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 04.05.2028 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20240904d2022 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Ионная и фотонная обработка материалов |e учебное пособие |f Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов | |
| 700 | 1 | |a Комаров, |b Ф. Ф. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Константинов, |b С. В. |4 070 | |
| 330 | |a Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики. | ||
| 210 | |a Минск |c Вышэйшая школа |d 2022 | ||
| 610 | 1 | |a ионная обработка | |
| 610 | 1 | |a фотонная обработка | |
| 610 | 1 | |a материал | |
| 610 | 1 | |a ионный пучок | |
| 610 | 1 | |a дефект | |
| 610 | 1 | |a отжиг | |
| 610 | 1 | |a легирующий атом | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a электроника | |
| 675 | |a 621.9 | ||
| 686 | |a 34.55 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 248 с. | ||