Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|
