تخطي إلى المحتوى

Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие

Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Комаров, Ф. Ф. (070)
التنسيق: Книга
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Перейти к просмотру издания
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!