Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Fag: | |
| Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|