Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | Книга |
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | Перейти к просмотру издания |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|