Технология интегральных микросхем учебное пособие
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конст...
Salvato in:
Autore principale: | |
---|---|
Natura: | Книга |
Soggetti: | |
Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|