Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
保存先:
フォーマット: | Книга |
---|---|
主題: | |
オンライン・アクセス: | Перейти к просмотру издания |
タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
物理的記述: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9729-1316-9 |