Перейти до змісту

Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие

Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Автор: Гребенщикова, М. М. (070)
Формат: Книга
Предмети:
Онлайн доступ:Перейти к просмотру издания
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
LEADER 02597nam0a2200397 4500
001 RU/IPR SMART/136179
856 4 |u https://www.iprbookshop.ru/136179.html  |z Перейти к просмотру издания 
801 1 |a RU  |b IPR SMART  |c 20240904  |g RCR 
010 |a 978-5-7882-3285-0 
205 |a Плазменное оборудование для нанотехнологий  |b 2027-01-12 
333 |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 12.01.2027 (автопролонгация) 
100 |a 20240904d2022 k y0rusy01020304ca 
105 |a y j 000zy 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Плазменное оборудование для нанотехнологий  |e учебное пособие  |f М. М. Гребенщикова, М. М. Миронов 
700 1 |a Гребенщикова,   |b М. М.  |4 070 
701 1 |a Миронов,   |b М. М.  |4 070 
330 |a Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов. 
210 |a Казань  |c Издательство КНИТУ  |d 2022 
610 1 |a плазменное оборудование 
610 1 |a нанотехнология 
610 1 |a покрытие 
610 1 |a вакуумное оборудование 
610 1 |a наноинженерия 
610 1 |a вакуумная камера 
610 1 |a материал 
675 |a 621.793 
686 |a 30.61  |2 rubbk 
300 |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. 
106 |a s 
230 |a Электрон. дан. (1 файл) 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
503 0 |a Доступна эл. версия. IPR SMART 
215 |a 96 с.