Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Wedi'i Gadw mewn:
Prif Awdur: | |
---|---|
Fformat: | Книга |
Pynciau: | |
Mynediad Ar-lein: | Перейти к просмотру издания |
Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|