Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|