Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Сохранить в:
主要作者: | |
---|---|
格式: | Книга |
主題: | |
在線閱讀: | Перейти к просмотру издания |
標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|