Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 主题: | |
| 在线阅读: | Перейти к просмотру издания |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|