APA-Zitierstil (7. Ausg.)
Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.