Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники учебное пособие
Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинг...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03500nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/13950 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/13950.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-91191-202-3 | ||
| 205 | |a Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2011 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники |e учебное пособие |f Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова | |
| 700 | 1 | |a Данилина, |b Т. И. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Чистоедова, |b И. А. |4 070 | |
| 330 | |a Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов | ||
| 210 | |a Томск |c Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент |d 2011 | ||
| 610 | 1 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 1 | |a нанолитография | |
| 610 | 1 | |a оптическая литография | |
| 610 | 1 | |a УФ-диапазон | |
| 610 | 1 | |a КУФ-диапазон | |
| 610 | 1 | |a ЭУФ-диапазон | |
| 675 | |a 621.382 | ||
| 686 | |a 32.852 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 96 с. | ||