Введение в современную микро- и наносистемную технику учебное пособие
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описани...
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
| LEADER | 03009nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/143195 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/143195.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-9729-1613-9 | ||
| 205 | |a Введение в современную микро- и наносистемную технику |b 2029-10-22 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 22.10.2029 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2024 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Введение в современную микро- и наносистемную технику |e учебное пособие |f А. В. Гридчин | |
| 700 | 1 | |a Гридчин, |b А. В. |4 070 | |
| 330 | |a Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей. | ||
| 210 | |a Москва, Вологда |c Инфра-Инженерия |d 2024 | ||
| 610 | 1 | |a наносистемная техника | |
| 610 | 1 | |a микросистема | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a фотолитография | |
| 675 | |a 621.382 | ||
| 686 | |a 32.844 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 232 с. | ||