Физика импульсного отжига учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены основные области применения импульсного излучения в технологии производства полупроводниковых приборов, физика взаимодействия высокоинтенсивного излучения с твердым телом, типы источников импульсного излучения, методики расчета распределения температуры при проведении и...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02901nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/152706 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/152706.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 2227-8397 | ||
| 205 | |a Физика импульсного отжига |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2024 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Физика импульсного отжига |e учебное пособие |f А. В. Паничкин | |
| 700 | 1 | |a Паничкин, |b А. В. |4 070 | |
| 330 | |a В учебном пособии рассмотрены основные области применения импульсного излучения в технологии производства полупроводниковых приборов, физика взаимодействия высокоинтенсивного излучения с твердым телом, типы источников импульсного излучения, методики расчета распределения температуры при проведении импульсного отжига полупроводниковых материалов и приборных структур. Проанализированы основные закономерности изменения характеристик полупроводниковых материалов, многослойных структур, гетероструктур, наноструктур, готовых приборов при использовании операций импульсного отжига в различных режимах. Предназначено для студентов, обучающихся в бакалавриате по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2024 | ||
| 610 | 1 | |a физика | |
| 610 | 1 | |a импульсный отжиг | |
| 610 | 1 | |a импульсное излучение | |
| 610 | 1 | |a полупроводниковый материал | |
| 610 | 1 | |a приборные структуры | |
| 610 | 1 | |a гетероструктура | |
| 610 | 1 | |a наноструктура | |
| 675 | |a 621.3 | ||
| 686 | |a 22.3 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 196 с. | ||