Skip to content

Физика импульсного отжига учебное пособие

В учебном пособии рассмотрены основные области применения импульсного излучения в технологии производства полупроводниковых приборов, физика взаимодействия высокоинтенсивного излучения с твердым телом, типы источников импульсного излучения, методики расчета распределения температуры при проведении и...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Паничкин, А. В. (070)
Format: Книга
Subjects:
Online Access:Перейти к просмотру издания
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!