Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме учебное пособие
Рассмотрено оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий, диагностическое и вспомогательное оборудование для реализации процессов взаимодействия ускоренного электронного пучка с поверхностью диэлектрических мишеней, физические принципы работы пучкового и плазменного технологического о...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03386nam0a2200397 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/152822 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/152822.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-6050215-3-7 | ||
| 205 | |a Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2023 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме |e учебное пособие |f Ю. Г. Юшков, А. С. Климов | |
| 700 | 1 | |a Юшков, |b Ю. Г. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Климов, |b А. С. |4 070 | |
| 330 | |a Рассмотрено оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий, диагностическое и вспомогательное оборудование для реализации процессов взаимодействия ускоренного электронного пучка с поверхностью диэлектрических мишеней, физические принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования. Для аспирантов, а также студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Может быть полезно для специалистов и инженеров, чья работа связана с вопросами взаимодействия плазмы, электронных и ионных пучков с поверхностью, методами обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники. | ||
| 210 | |a Томск |c Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники |d 2023 | ||
| 610 | 1 | |a электронно-лучевые технологии | |
| 610 | 1 | |a плазменные технологии | |
| 610 | 1 | |a форвакуум | |
| 610 | 1 | |a электронный пучок | |
| 610 | 1 | |a диэлектрическая мишень | |
| 610 | 1 | |a диэлектрик | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 675 | |a 537.533 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 68 с. | ||