Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01
Рассматриваются основные физические процессы взаимодействия ускоренных частиц и плазмы с веществом, принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования, применение электронно-ионно-плазменных технологий в промышленности. Для аспирантов направления подготовки 11.06.01, а также студе...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03462nam0a2200421 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/152869 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/152869.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-86889-891-4 | ||
| 205 | |a Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2020 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий |e учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01 |f Д. Б. Золотухин, А. С. Климов, А. В. Тюньков [и др.] | |
| 701 | 1 | |a Золотухин, |b Д. Б. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Климов, |b А. С. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Тюньков, |b А. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Окс, |b Е. М. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Юшков, |b Ю. Г. |4 070 | |
| 330 | |a Рассматриваются основные физические процессы взаимодействия ускоренных частиц и плазмы с веществом, принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования, применение электронно-ионно-плазменных технологий в промышленности. Для аспирантов направления подготовки 11.06.01, а также студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники, ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Учебное пособие может быть полезным для специалистов и инженеров, сфера деятельности которых касается взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, методов обработки материалов потоками заряженных частиц. | ||
| 210 | |a Томск |c Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники |d 2020 | ||
| 610 | 1 | |a электронно-ионно-лучевые технологии | |
| 610 | 1 | |a плазменные технологии | |
| 610 | 1 | |a ускоренные частицы | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a вакуум | |
| 610 | 1 | |a электронно-лучевая сварка | |
| 675 | |a 621.384 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 172 с. | ||