Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кисл...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | Книга |
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | Перейти к просмотру издания |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
