Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кисл...
Сохранить в:
主要作者: | Берлин, Б. В. (070) |
---|---|
格式: | Книга |
主題: | |
在線閱讀: | Перейти к просмотру издания |
標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|
相似書籍
-
Лабораторный практикум по курсу «Методы и подходы к модификации поверхности биосовместимых полимеров и композитов на их основе»
由: Лапуть, О. А. -
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
由: Твердохлеб, П. Е. -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
由: Васильев, В. Ю. - Гидрохимическое осаждение тонких пленок халькогенидов металлов практикум
-
Радиоматериалы и радиокомпоненты: методические указания к выполнению курсовой работы «Расчет тонкопленочных резисторов» для студентов специальности 11.05.01 «радиоэлектронные системы и комплексы» оч-ной формы обучения
出版: (2024)