Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кисл...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Fag: | |
| Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|