Основы технологии материалов микроэлектроники учебно-методическое пособие
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | Перейти к просмотру издания |
| Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
| Descripción Física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7782-1420-0 |