Основы технологии материалов микроэлектроники учебно-методическое пособие
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02615nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/45129 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/45129.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-7782-1420-0 | ||
| 205 | |a Основы технологии материалов микроэлектроники |b 2030-02-05 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 05.02.2030 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2010 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Основы технологии материалов микроэлектроники |e учебно-методическое пособие |f А. В. Каменская | |
| 700 | 1 | |a Каменская, |b А. В. |4 070 | |
| 330 | |a В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника». | ||
| 210 | |a Новосибирск |c Новосибирский государственный технический университет |d 2010 | ||
| 610 | 1 | |a технология материала | |
| 610 | 1 | |a материал микроэлектроники | |
| 610 | 1 | |a выращивание монокристалла | |
| 610 | 1 | |a полупроводниковое соединение | |
| 675 | |a 621.38 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 96 с. | ||