Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения монография
Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбужден...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| LEADER | 04219nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/47711 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/47711.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20240904 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-7782-1559-7 | ||
| 205 | |a Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения |b 2025-02-05 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 05.02.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20240904d2011 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения |e монография |f В. М. Геллер, В. А. Хрусталев | |
| 700 | 1 | |a Геллер, |b В. М. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Хрусталев, |b В. А. |4 070 | |
| 330 | |a Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения. | ||
| 210 | |a Новосибирск |c Новосибирский государственный технический университет |d 2011 | ||
| 610 | 1 | |a электронное приборостроение | |
| 610 | 1 | |a высокочастотные технологии | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 298 с. | ||