Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травл...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Книга |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|
| Descrizione fisica: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 2227-8397 |