Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травл...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Темы: | |
| Acceso en liña: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|