Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травл...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | Книга |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | Перейти к просмотру издания |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|