Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций

Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, кот...

תיאור מלא

מידע ביבליוגרפי

מחבר ראשי:	Юрчук, С. Ю. (070)
פורמט:	Книга
נושאים:	фотолитография электронная литография математическое моделирование субмикронная структура
גישה מקוונת:	Перейти к просмотру издания
תגים:	הוספת תג אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!