Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций

Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, кот...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Hlavní autor:	Юрчук, С. Ю. (070)
Médium:	Книга
Témata:	фотолитография электронная литография математическое моделирование субмикронная структура
On-line přístup:	Перейти к просмотру издания
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!