Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретиче...
Uloženo v:
| Médium: | Книга |
|---|---|
| Témata: | |
| On-line přístup: | Перейти к просмотру издания |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Fyzický popis: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-87623-556-5 |