Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретиче...
Salvato in:
| Natura: | Книга |
|---|---|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|
| Descrizione fisica: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-87623-556-5 |