Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретиче...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Схожие документы
- Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие
-
Элионная технология в микро- и наноиндустрии курс лекций
Автор: Кузнецов, Г. Д. -
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны учебное пособие
Автор: Кузнецов, Г. Д. -
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Автор: Родионов, Ю. А. -
Диффузия атомов и ионов в твердых телах
Автор: Бокштейн, Б. С.