Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

التنسيق:	Книга
الموضوعات:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
الوصول للمادة أونلاين:	Перейти к просмотру издания
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!