Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Médium:	Книга
Témata:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
On-line přístup:	Перейти к просмотру издания
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!