Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Täydet tiedot

Bibliografiset tiedot

Aineistotyyppi:	Книга
Aiheet:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Linkit:	Перейти к просмотру издания
Tagit:	Lisää tagi Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!