Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Description complète

Détails bibliographiques

Format:	Книга
Sujets:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Accès en ligne:	Перейти к просмотру издания
Tags:	Ajouter un tag Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!