Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Cur síos iomlán

Sonraí bibleagrafaíochta

Formáid:	Книга
Ábhair:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Rochtain ar líne:	Перейти к просмотру издания
Clibeanna:	Cuir clib leis Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!