Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Cijeli opis

Bibliografski detalji

Format:	Книга
Teme:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Online pristup:	Перейти к просмотру издания
Oznake:	Dodaj oznaku Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!