Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

ver descrição completa

Detalhes bibliográficos

Formato:	Книга
Assuntos:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Acesso em linha:	Перейти к просмотру издания
Tags:	Adicionar Tag Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!