Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Ful tanımlama

Detaylı Bibliyografya

Materyal Türü:	Книга
Konular:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Online Erişim:	Перейти к просмотру издания
Etiketler:	Etiketle Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!