Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Повний опис

Бібліографічні деталі

Формат:	Книга
Предмети:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Онлайн доступ:	Перейти к просмотру издания
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!