Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Định dạng:	Книга
Những chủ đề:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Truy cập trực tuyến:	Перейти к просмотру издания
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!