Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

全面介绍

书目详细资料

格式:	Книга
主题:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
在线阅读:	Перейти к просмотру издания
标签:	添加标签 没有标签, 成为第一个标记此记录!