Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...
Kaydedildi:
| Materyal Türü: | Книга |
|---|---|
| Konular: | |
| Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| LEADER | 04081nam0a2200409 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/56649 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/56649.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-87623-547-3 | ||
| 205 | |a Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций |b 2027-03-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.03.2027 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций |e учебное пособие |f Г. Д. Кузнецов, А. А. Сергиенко, С. Б. Симакин [и др.] | |
| 701 | 1 | |a Кузнецов, |b Г. Д. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Сергиенко, |b А. А. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Симакин, |b С. Б. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Курочка, |b С. П. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Курочка, |b А. С. |4 070 | |
| 330 | |a В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы. По каждой теме приводится перечень контрольных вопросов для проверки усвоения материала и выдаются домашние задания с примером выполнения. Учебное пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнология и микросистемная техника» и может быть полезно обучающимся по направлениям «Наноматериалы» и «Физика». | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a элионная технология | |
| 610 | 1 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a неразрушающий метод | |
| 610 | 1 | |a гетерокомпозиция | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.84 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 122 с. | ||