Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Disgrifiad llawn

Manylion Llyfryddiaeth

Fformat:	Книга
Pynciau:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Mynediad Ar-lein:	Перейти к просмотру издания
Tagiau:	Ychwanegu Tag Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!