Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Format:	Книга
Schlagworte:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Online Zugang:	Перейти к просмотру издания
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!